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倉庫直發(fā)?。LVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵

倉庫直發(fā)?。LVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 HR300
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  • 更新時間:2025-06-06
  • 產(chǎn)品型號:HR300
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 訪  問  量:285
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產(chǎn)品詳情

倉庫直發(fā)??!ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 HR300

倉庫直發(fā)??!ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 HR300


通過高溫領域的泵體均熱化,實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

    特點

    • 高溫區(qū)域均熱化
      實現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。
      “Model:UR"可比“Model:HR"更加高溫化。

    • 氦氣密封
      通過搭載屏蔽電動機形成密閉結(jié)構(gòu),非常安全。

    • 瞬停對策
      采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。

    • 出色的耐腐蝕性
      主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內(nèi)部的腐蝕。

    • 通信功能
      可讀取與泵運轉(zhuǎn)狀態(tài)相關的數(shù)據(jù)、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信,則可實現(xiàn)集中監(jiān)控。

    用途

    • CVD裝置

    • 蝕刻裝置

    • 灰化裝置

    • ALD、ALH 等

    規(guī)格

    型號HR60HR90HR300HR600HR1200
    使用泵干式真空泵HR60HR90HR60HR90HR90
    機械增壓泵--PRC-003APRC-006APRC-012A
    最大
    排氣速度
    50Hzm3/h
    (L/min)
    62(1030)112(1860)359(5,980)653(10,900)1,012(16,900)
    60Hzm3/h
    (L/min)
    80(1333)126(2100)365(6,080)701(11,700)1,051(17,500)
    到達壓力Pa50.67
    最大排氣壓力
    (吸入圧力)

    大氣壓 *1
    最大排氣壓力
    (吸入圧力)
    Pa1~ 大氣壓
    吸氣口 (CE規(guī)格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG80(KF80)VG100(KF100)
    排氣口KF40
    質(zhì)量kg180245275370420
    電源三相VAC
    (Hz)
    200(50/60), 220(60)
    電流值穩(wěn)定時A7.1
    (at 200V)
    11.2
    (at 200V)
    7.8
    (at 200V)
    12.9
    (at 200V)
    15.4
    (at 200V)
    最大值A7.3
    (at 200V)
    11.8
    (at 200V)
    8.1
    (at 200V)
    13.8
    (at 200V)
    18.9
    (at 200V)
    冷卻水一次圧力MPa0.1~0.3
    冷卻水出入口壓差MPa>0.1
    冷卻水流量L/min>5.0
    吹掃氣一次壓力MPa0.1~0.5
    二次壓力MPa0.05~0.1
    N2吹掃SLM5
    氣鎮(zhèn)SLM0~45

    、HR600、HR1200請勿在200Pa以上的吸入壓力下連續(xù)運轉(zhuǎn)。





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      深圳市龍華區(qū)龍華街道松和社區(qū)匯食街一巷10號展源商務大廈 1207

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