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ULVAC愛發(fā)科

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全新??！ULVAC愛發(fā)科低能耗真空螺桿型干泵

全新！！ULVAC愛發(fā)科低能耗真空螺桿型干泵 MS1200A
池田屋實業(yè)優(yōu)勢供應，并提供報價圖片

更新時間：2025-06-06
產(chǎn)品型號：MS1200A
廠商性質：經(jīng)銷商
訪問量：253

立即咨詢

聯(lián)系電話：0755-22220219

產(chǎn)品詳情

全新??！ULVAC愛發(fā)科低能耗真空螺桿型干泵 MS1200A

全新！！ULVAC愛發(fā)科低能耗真空螺桿型干泵 MS1200A

"Model:MS"是螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)的"Model:LS"的基礎上，提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。

該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設計。

特點

通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕。
采用ULVAC獨T設計的轉子軸，實現(xiàn)高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。

用途

半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設備、去膠設備、等離子清洗設備等。
真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。
醫(yī)療食品設備相關的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。

規(guī)格

模型		MS120A	MS600A	MS1200A
最大排氣速度 *1	立方米/小時	115	560	980
到達壓力	出色地	≦0.6	≦0.1
電源電壓		200V級：三相，50/60Hz，AC200-240V±10% 或 400V級：三相，50/60Hz，AC380-480V±10%
消費電力概略值 *2	千瓦	2.4	3.1	3.1
冷卻水量	升/分鐘	>4.0
Purge gas量 *1	空間光調制器	0~50
最大水蒸氣處理量 13	公斤/小時	1.5
噪音值　*1	分貝(A)	61	62	64
吸氣口		KF50(臥式) / VG50(立式)	ISO-F-80	ISO-F-100
排氣口		KF40
質量 *4	公斤	139	241	264
適用規(guī)格		CE、cTUVus
標準附屬品		快速手冊、電源連接器、防水電纜夾、遠程連接器、電源連接器保護裝置、消音器
主機選項		電源：200V級或400V級密封材質：FKM或FFKM
外部選配件		包裝排氣口、防震支架、LR兼容單元（入口、遠程）、吹掃氣閥

：到達壓力時
*2：At ultimate pressure (reference only)
*3：Purge gas使用時的最大水蒸氣處理量
*4：Including a silencer

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