概述

FUJIKIN PUN-913P-6.35 是一款用于精確控制微小氣體流量的隔膜式微調(diào)閥。其核心特點是具有jg的流量調(diào)節(jié)精度和重復性，專為對流量控制要求極其嚴苛的應用場景而設計。

主要特點與設計用途

1. 超高精度流量調(diào)節(jié)：

• 采用精密的閥桿和隔膜設計，可以實現(xiàn)非常微小且平滑的流量調(diào)整。

• 具有j佳的重復性，意味著在關閉后再次調(diào)整到同一位置時，流量值能夠高度一致。

• 隔膜式密封：

• 零泄漏：提供j高的密封性，防止工藝氣體外泄或外部污染物進入，對于安全性和純度至關重要。

• 無顆粒產(chǎn)生：閥桿不與流體接觸，避免了因摩擦產(chǎn)生的顆粒污染。

• 長壽命：減少了閥芯密封件的磨損。

• 這是g端調(diào)閥的常見設計。通過金屬隔膜將閥桿的驅(qū)動部分與流路部分w全隔離。

• 優(yōu)點：

• 適用于嚴苛介質(zhì)：

• 專門用于控制高純度氣體、腐蝕性氣體、有毒氣體或反應性氣體。

• 閥體、隔膜和密封材料通常采用 SUS316L、哈氏合金C-22等高性能材料，以確保z越的抗腐蝕性。

• VCR® 接口：

• "PUN-913P-6.35" 中的 "6.35" 通常指接口尺寸為 1/4 英寸。

• 該型號極有可能標配或可選 VCR® 型接口。這是一種金屬墊圈面密封接頭，廣泛應用于超高純度、真空和危險氣體輸送系統(tǒng)，具有極g的氣密性。

• 精細的螺紋設計：

• 閥桿采用細牙螺紋，使得閥桿每旋轉一圈的行程非常小，從而實現(xiàn)了對流量的“微調(diào)"。

典型應用場景

由于其高精度和高密封性，PUN-913P系列主要用于以下g端制造和研發(fā)領域：

• 半導體制造： 在化學氣相沉積（CVD）、原子層沉積（ALD）、蝕刻等工藝中，精確控制反應氣體的流量。

• 光伏行業(yè)： 太陽能電池片生產(chǎn)中的薄膜沉積工藝。

• 科研實驗裝置： 需要精確配比和輸送特種氣體的實驗室反應系統(tǒng)。

• 特種氣體工程： 用于輸送、分配高純度或危險氣體的面板和系統(tǒng)。

•