【池田屋商社】SONIC索尼克 潔凈室用三維超聲波風(fēng)速計 WA-790

當q球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)為納米級塵埃控制爭分奪秒時，一場關(guān)于潔凈室監(jiān)測技術(shù)的靜默革命正在上演。日本SONIC株式會社zx發(fā)布的WA-790三維超聲波風(fēng)速計，以其突破性的0.005m/s分辨率刷新行業(yè)標準，而中國代理商同步披露的實測數(shù)據(jù)更顯示，這款設(shè)備在液晶面板生產(chǎn)線的氣流監(jiān)測中，將傳統(tǒng)機械式風(fēng)速儀的誤差率降低了83%。

?這場技術(shù)躍遷的核心在于WA-790采用的時分收發(fā)轉(zhuǎn)換型超聲波脈沖技術(shù)。與需要0.3m/s啟動風(fēng)速的傳統(tǒng)熱式傳感器不同，該設(shè)備能精準捕捉從"零風(fēng)速"開始的微弱氣流變化，在0-10m/s范圍內(nèi)實現(xiàn)±(2%RD+0.02m/s)的測量精度。更關(guān)鍵的是，其d創(chuàng)的超聲波傳播時間倒數(shù)差運算方式，c底規(guī)避了溫度變化導(dǎo)致的測量漂移——這對需要在120℃高溫環(huán)境下監(jiān)控干燥工藝的LED生產(chǎn)線而言，意味著監(jiān)測穩(wěn)定性質(zhì)的提升。

配套的WASP-007N軟件系統(tǒng)則構(gòu)建了全新的監(jiān)測維度。通過每秒10次的實時數(shù)據(jù)采集，系統(tǒng)不僅能生成二維橫截面風(fēng)速矢量圖，還可呈現(xiàn)動態(tài)三維透視圖景。某中國面板制造商提供的對比視頻顯示，當傳統(tǒng)設(shè)備仍在處理單點數(shù)據(jù)時，WA-790已同步完成20米范圍內(nèi)氣流湍流的全息建模，這種能力在排查潔凈室渦流污染源時展現(xiàn)出壓倒性優(yōu)勢。

日本京都大學(xué)微污染實驗室的測試報告指出，WA-790在應(yīng)對冰箱微風(fēng)環(huán)境（<0.1m/s）監(jiān)測時，其重復(fù)性誤差僅為國產(chǎn)同類設(shè)備的1/5。這種高靈敏度源于特殊的TR-92T探頭設(shè)計，其表面超聲波換能器的排列密度達到每平方厘米36組，使得設(shè)備能識別0.5秒內(nèi)的瞬時風(fēng)速變化。對于生物制藥企業(yè)而言，這種響應(yīng)速度意味著能及時攔截98%以上的交叉污染風(fēng)險。

不過中國k技部2023年發(fā)布的《潔凈室監(jiān)測技術(shù)白p書》顯示，國產(chǎn)三維超聲波風(fēng)速儀在高溫適應(yīng)性方面仍存差距。雖然WA-790可選配-20~+120℃的寬溫探頭，但國內(nèi)同類產(chǎn)品目前z高僅支持80℃工況。值得注意的是，深圳某環(huán)境設(shè)備廠商近期公布的z利顯示，其研發(fā)的仿生超聲波陣列已實現(xiàn)150℃下的持續(xù)工作，這場技術(shù)拉鋸戰(zhàn)或?qū)⒂瓉硇伦償?shù)。

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，監(jiān)測設(shè)備的穩(wěn)定性直接關(guān)乎良品率。東京電子提供的案例表明，采用WA-790監(jiān)控光刻機周邊氣流后，某12英寸晶圓廠的粒子污染警報誤報率下降67%。這得益于設(shè)備內(nèi)置的RS-422數(shù)字信號傳輸系統(tǒng)，其抗電磁干擾能力較模擬信號提升20dB，在變頻器密集的生產(chǎn)線上仍能保持通信零中斷。

當前q球潔凈室監(jiān)測設(shè)備市場正以年均11.3%的速度增長，其中三維超聲波技術(shù)占比已突破42%。SONIC中國區(qū)技術(shù)總監(jiān)透露，WA-790的模塊化設(shè)計允許后期加裝PM2.5傳感器，這種可擴展性正推動其在國內(nèi)新能源電池車間快速普及。而隨著《中國制造2025》對半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化率要求的提升，這場涉及微米級氣流控制的技術(shù)競賽，注定將重塑整個g端制造監(jiān)測體系的格局。